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典型航空工(gōng)業難加工(gōng)材料超聲振動輔助加工(gōng)現狀
超聲加工(gōng)降低切削力、改善粗糙度、降低刀具磨損
碳化矽晶圓功率密度高、耐壓高、導熱系數高，是功率半導體(tǐ)首選材料，在新能源領域應用越來越廣泛。碳化矽硬度高，采用常規的晶圓劃片方案，切割速度慢(màn)，刀片消耗大(dà)。超聲振動輔助劃片，極大(dà)地提高了生(shēng)産效率。
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